【光峰科技(688007)获“光栅干涉曝光体系 ”专利】2024 年 7 月 7 日消息，深圳光峰科技股份有限公司取得一项名为“光栅干涉曝光体系 ”的专利，授权公告号为 CN221261503U，申请日期为 2023 年 8 月。该专利择要 表现 ，此体系 涉及全息光栅制造范畴 ，包罗 发光装置、相位探测装置和至少两组相位调制组件。发光装置可发出两束干系 光束，经差别 路径传输后干涉形成干涉条纹。相位探测装置用于收罗 干涉条纹中对应每种波长光线形成的干涉条纹，并确定每种波长光线对应的相位漂移量。相位调制组件设于发光装置中且与相位探测装置毗连 ，每组相位调制组件对应获取一种波长光线的相位漂移量，并基于此调制对应光线的波长以补偿 相位漂移。因此，该体系 能对每种波长光线的相位举行 单独调制，实现多波长干涉曝光体系 在曝光过程中每种波长光线的相位恒定，提拔 全息光栅干涉曝光质量。